Agilent Technologies 是全球科學儀器與分析解決方案領域的領導品牌，致力於協助客戶在化學分析、生命科學、食品安全、製藥、材料科學與電子產業中推動創新。自 1999 年自惠普公司獨立以來，Agilent 以精準、可靠與創新為核心，持續為全球客戶提供高效的分析與真空技術。
品牌詳細介紹 半導體製程中的精密漏氣檢測利器
在先進半導體製造過程中，真空完整性直接關係到良率與製程穩定性。 無論是在蝕刻腔、PVD/CVD 腔體、Load-lock 快取腔，或是晶圓轉運系統，微小漏氣都可能導致汙染、壓力異常或製程失控。
Agilent 氣密測漏儀（Helium Leak Detector）提供高靈敏度與快速反應的氦氣檢漏能力，是半導體設備氣密測試與日常維護不可或缺的工具。
產品特色
高靈敏度、快速檢出
Agilent 測漏儀可偵測低至 10⁻¹² mbar·L/s 的極微漏率，搭配先進氦質譜分析技術，即使在複雜腔體或低背景環境中也能快速定位漏點。
專為生產線與維護應用設計
提供多種操作模式（如嗅探模式、抽氣模式、壓力衰減法），可依照應用場景切換，適用於：
- 設備出廠氣密測試（End-of-Line）
- 腔體定期檢漏與保養
- 建廠時的管路與真空系統驗收
穩定可靠、整合容易
Agilent 氣密測漏儀具備模組化設計、觸控操作介面與遠端通訊功能（支援 RS232、Ethernet），便於整合至設備端或進行遠端監控。
半導體應用場景
- 真空腔體／Load Lock 氣密驗證
- 蝕刻、沉積、光罩機台等設備保養檢測
- 晶圓製程模組（如 EFEM、Transfer Module）氣密檢查
- 製程異常分析與現場維修輔助工具
為何選擇 Agilent
Agilent 擁有數十年真空與氣體分析領域經驗，所推出的 Leak Detector 系列產品廣泛應用於全球半導體晶圓廠與設備製造商， 為高效、高可靠性的製程保駕護航。
