Agilent Technologies 是全球科學儀器與分析解決方案領域的領導品牌，致力於協助客戶在化學分析、生命科學、食品安全、製藥、材料科學與電子產業中推動創新。自 1999 年自惠普公司獨立以來，Agilent 以精準、可靠與創新為核心，持續為全球客戶提供高效的分析與真空技術。
品牌詳細介紹 專為半導體真空製程打造的高效能核心系統
在先進製程持續推進的今日，真空穩定性已成為半導體設備不可妥協的關鍵要求。 Agilent Turbo-V 與 TwisTorr 系列渦輪分子幫浦，專為應對半導體製造中的高潔淨度、 高稼動率與多變氣體負載條件所設計，是電子顯微鏡（EM）、量測檢查、PVD、CVD 及離子佈植等製程的理想真空解決方案。
產品優勢一覽
穩定抽氣效能
提供從 70 l/s 至 2000 l/s 的抽速選擇，適用於 SEM、e-beam、離子佈植與蝕刻機台。
高氣體通量處理能力
特別針對高氣體負載製程優化，能迅速回復進氣造成的中斷。
靜音與低震動設計
專利雙層減振結構，降低振動與噪音，提升量測穩定性。
模組化設計，維護簡便
搭配智慧型驅動器，簡化保養流程，縮短停機時間。
高相容性與彈性整合
支援多種法蘭規格，輕鬆整合至既有設備或新系統。
TwisTorr 系列亮點
TwisTorr 採用獨特螺旋流道設計，結合分子與機械泵原理， 對重分子氣體（如 Ar、N₂）具高抽氣效率，適用於 PVD、電漿蝕刻與 ALD 製程。
推薦應用場景
- CD-SEM / DR-SEM / eBeam 檢查系統
- 薄膜沉積（PVD、ALD）
- 離子佈植與電漿製程
- 真空轉運腔體（Load Lock）
- 分析儀器（如 SIMS、XPS、AES）
Agilent — 值得信賴的真空夥伴
身為真空科技的領導品牌，Agilent 結合數十年研發經驗與全球技術支援網絡， 致力於提供高效、可靠且易於整合的真空解決方案，助力半導體製造邁向更高品質與產能。
