科技新訊 Application

經典製程與高科技的交會—晶圓製造中的精密陶瓷零組件

Gerber 再次突破既有領域，開拓全新的技術版圖。隨著電子零組件的需求激增，全球晶片製造業正不斷擴張，進而帶動了晶圓產能的提升。René Gerber AG 正致力於成為晶圓製造供應鏈中不可或缺的一環。我們的目光特別聚焦於微電子與微系統元件，例如業界俗稱的「靜電吸盤 (Electrostatic Chucks, 簡稱 ESC)」。

靜電吸盤 (ESC) 是一種利用靜電吸附力將晶圓固定到位，以便進行後續加工的夾持裝置。這些吸盤上的陶瓷蓋板正是Gerber 技術核心優勢。靜電吸盤能否發揮最佳效用的決定性標準，在於其必須同時具備完美的平面度以及極低的表面粗糙度 (Ra < 0.05)。
 

唯有頂級的表面加工品質，才能將晶圓夾持裝置的吸附 (Chucking) 與脫離 (De-chucking) 效能最佳化。這不僅能大幅提高晶圓的吞吐量 (Throughput)，更能有效提升整體的生產效率。

透過我們的 BP Mx 刷式拋光機 與廠內獨家研發的拋光膏，我們能依據晶圓製造的嚴格標準，將 ESC 表面拋光至最極致的品質：也就是完美的平面度與極低的表面粗糙度。我們久經考驗的拋光膏製程，如今完美契合了半導體產業的高科技應用需求——卓越的適應力，正是我們邁向成功的關鍵！