Nanotech 650FG 超精密5軸自由曲面加工機

650FG為超精密5軸自由曲面加工機,可用於軸對稱非球面和螺旋表面車削加工,並可使用慢刀伺服技術(旋轉式)進行自由曲面加工,使用柵式飛刀技術進行自由曲面、衍射面以及光學棱體結構的加工。
產品簡介
​​產品簡介

650FG超精密5軸自由曲面加工機

650FG為超精密5軸自由曲面加工機,可用於軸對稱非球面和螺旋表面車削加工,並可使用慢刀伺服技術(旋轉式)進行自由曲面加工,使用柵式飛刀技術進行自由曲面、衍射面以及光學棱體結構的加工。
 

機床特性

  • PC 兼容CNC運動控制器以及Windows操作系統,編程分辨率0.01納米(0.0004u”)
  • 線性光學尺,分辨率34皮米(0.034nm)
  • 可對自由曲面、衍射面和光學棱鏡結構進行柵式飛刀或磨削加工
  • 加工離軸和環狀元件時可將加工能力擴展至直徑20'' (500mm)
  • 全約束式油靜壓導軌,以及安裝於垂直軸用於優化伺服性能的空氣軸承自適應平衡器
  • 獨有的10,000 rpm轉速“重型”PI空氣軸承主軸(配有液體冷卻系統),嵌入Y軸托架以增強外圈剛性,減少重力造成的運動誤差。
  • 選配項包括:靜壓旋轉工作台B軸,主軸內置C軸任意定位控制,微磨削以及微銑磨附件,快刀伺服系統,裝調用光學工具,噴霧式製冷系統,真空卡盤,高度微調刀座,NanoCAM 2D非球面元件編程軟件以及機床在線測量和誤差補償系統(WECS),溫控系統。
技術參數

技術參數
 

性能 650FG
工件尺寸 直徑可達 650 mm
運動精度 軸向: <12.5 奈米 (0.5μ”) 
徑向: < 12.5 奈米 (0.5μ”)
功能表現
(用激光干涉儀和白光干涉儀在同一部分測量)
材料 – 高純鋁合金
形狀精度 (P-V):< 0.15µm / 75mm 直徑,250mm 半徑凸球。
表面光潔度 (Ra):< 3.0 納米
(重要提示:形狀和表面光潔度均在同一零件、同一表面上測量!)
X 軸 類別 全約束油靜壓,箱式滑軌
行程 350mm (14”)
驅動系統 無刷直流直線電機
反饋類型 雷射全息線性標尺
反饋解析度 0.0084奈米
進給率(最大) 2000mm/min (根據要求)
定位精度 全行程0.3µm (12µ”) 
Z 軸 類別 全約束油靜壓,箱式滑軌
行程 300mm (12”)
驅動系統 無刷直流直線電機
反饋類型 雷射全息線性標尺
反饋解析度 0.0084奈米
進給率(最大) 2000mm/min (根據要求)
定位精度 全行程0.3µm (12µ”) 
Y 軸 類別 全約束油靜壓,箱式滑軌
行程 150mm (7”)
驅動系統   無刷直流直線電機
反饋類型 雷射全息線性標尺
反饋解析度 0.0084奈米
進給率(最大) 2000mm/min (根據要求)
定位精度 全行程0.5µm (20µ”) /0.3µm (14µ”)
(中央 100mm)
機器佔地面積
(包括公用事業櫃)
1.8m L x 1.8m D x 2m H;   大約 3,180 Kg 
(包括附件和公用櫃,但不包括控制掛件。請聯繫DKSH 以獲取完整的整體詳細佈局。)